所有濕化學(xué)部件均采用耐用、耐酸、高純度的PTFE聚四氟乙烯材料，而不是不耐HF、純度亦無法媲美的石英材料。  

清洗腔采用一體成型工藝，無懼高溫，常年使用無開裂之憂。而某些類似產(chǎn)品通過粘結(jié)方式把廉價(jià)的板材拼接成方形腔體，長期的高溫使用會(huì)逐漸對(duì)粘結(jié)處造成致命損害，開裂漏酸是早晚的事情。  

另外，一體成型的圓柱形清洗腔，*，極易清洗。而粘結(jié)的方形腔體死角非常多，污染物很難*排除。  

更重要的，圓柱形更加符合流體動(dòng)力學(xué)，清洗腔內(nèi)部酸汽分布均勻。而方形腔體周邊與中心位置差別很大，很難保證清洗的均勻性。  

蒸汽單循環(huán)技術(shù)（OWV）無廢酸二次污染  

蒸汽單循環(huán)技術(shù)確保用過的酸直接從系統(tǒng)中排出，不會(huì)有回流到酸池，因此避免了清洗后的臟酸污染凈酸。  

在傳統(tǒng)技術(shù)（酸逆流）中，廢酸會(huì)反復(fù)回流到酸池中并蒸發(fā)。結(jié)果，廢酸不斷地污染凈酸，所產(chǎn)生的蒸汽也越來越臟，造成清潔效率降低。  

實(shí)驗(yàn)證明，采用蒸汽單循環(huán)的清洗效果，要優(yōu)于酸逆流若干個(gè)數(shù)量級(jí)。